真空腔体温度监控多区温度检测-高精度温度计量检测

2023年04月24日 11:36:07 人气: 1052 来源: 上海智与懋检测仪器设备有限公司

真空腔体温度监控多区温度检测-高精度温度计量检测

真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，真空腔体在很多材料的加工生产中起到非常重要的作用，而且在腔体内进行材料加工时，需要调节温度，从而使真空腔内部的满足生产工艺的需求。现有的设备例如一些真空管式炉设备，在工作时通过电阻丝进行加热，能够使真空腔快速升温，进而满足工作需求，但在加热过后，加热丝依旧能提供热量，工作后的余热会导致温度进一步缓慢上升，温度过高容易损坏仪器，对于整体的温度没有很好的控制，会影响工作的进行。

真空腔体温度监控多区温度检测-高精度温度计量检测

合肥智测电子目前已经建成软件、硬件研发实验室，温度传感器组装和测试生产线，拥有完善的高精度温度校准能力。我们的产品被国内头部集成电路设备和制造企业采用，具有较强的定制开发能力

我们的高精度温度传感器变送器等应用于

半导体制造装备测温

真空环境测温

生物医疗过程测温

环境洁净工程(精密光学仪器使用环境工程、半导体制造环境工程等)

电子工业工程(精密电子无尘室、精密机械无尘室、注塑涂装无尘室、激光彩印无尘室)

关键词：真空腔体温度监控,单晶硅温度监控,刻蚀机台温度监测,真空环境测温,Shower Head温度监控

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